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汇成PVD镀膜真空系统中的结构原理韶山【新闻】

发布时间:2022-08-19 19:00:20

汇成PVD镀膜真空系统中的结构原理

PVD镀膜体的布置结构决定了PVD镀膜的总体结构。PVD镀膜立式结构的进、排气口水平设置,PVD镀膜装配和连接管路都比较方便。 ?????? PVD真空镀膜设备顾名思义是通过PVD技术利用真空环境实现对基材的覆膜的机器,东莞汇成真空是一家生产制造PVD真空镀膜设备的厂家,设备具有以下优点:1. 具有出色的附着力。??2. 高抗氧化性,高硬度,高抗磨损性。 3. 大批量生成。??4. 不限制产品的形状、大小。 5. 其他请咨询。? ???????PVD设备注意事项:??一、 开机要先检查水路的畅通性,确定冷却塔、真空泵是否正常工作,检查气路是否畅通,确定空压机是否正常工作。??二、要确定真空室内的膜料、离子源灯丝、工件架是否按要求放置。??三、工艺完成后要关闭电子枪和离子源等开关,待真空镀膜设备冷却一消失后方可 关闭电源。??四、未经允许不可开店电柜、真空室的屏蔽门。 ???????PVD镀膜体的布置结构决定了PVD镀膜的总体结构。PVD镀膜立式结构的进、排气口水平设置,PVD镀膜装配和连接管路都比较方便。但PVD镀膜的重心较高,PVD镀膜在高速运转时稳定性差,故这种型式多用于小PVD镀膜。有时为了真空系统管道安装连接方便,可将PVD镀膜排气口从水平方向接出,即进、排气方向是相互垂直的。 ???????PVD镀膜排气口可以从左或右两个方向开口,PVD镀膜除接排气管道一端外,另一端堵死或接旁通阀。这种PVD镀膜结构重心低,高速运转时稳定性好。一般大、中型PVD镀膜多采用此种结构。PVD镀膜的两个转子轴与水平面垂直安装。 ???????PVD镀膜主动轴通过联轴器与电机联接。PVD镀膜在传动结构布置上主要有以下两种:其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。PVD镀膜从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动,这样主动转子轴的扭转变形小,则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变,PVD镀膜故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。 ???????东莞汇成真空十多年来专业从事各种真空镀膜应用设备制造,不断引进国外先进的真空镀膜设备,多年来致力于研发和生产真空镀膜机,以最新技术不断制造出满足市场需要的真空电镀设备,为客户提供定制化的工艺解决方案和机器。欢迎广大顾客来电咨询,电话:0769-85611172。详情请关注:>

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